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mg国际老虎机玻璃材料有限公司
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北京国瑞升科技股份有限公司
作者:mg国际老虎机   发布时间:2020-04-22 17:02

  GRISH纳米二氧化硅抛光液(CMP)我公司系列硅溶胶产品均是以高纯硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品,广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅晶圆片、锗片、化合物半导体材料砷化镓、磷化铟,精密光学器件、蓝宝石片等的抛光加工。具有应用领域广、抛光效率高、杂质含量低、抛光后容易清洗等特点。如:硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。可生产不同粒度(10~150nm)的产品满足用户需求。根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。产品的特点: 1.高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的(可以生产150nm) 2.粒度可控,根据不同需要,可生产不同粒度的产品(10-150nm) 3.高纯度(Cu2+含量小于50ppb),有效减小对电子类产品的沾污 4.高平坦度加工,本品抛光是利用SiO2的胶体粒子,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工 抛光液基本性质碱性型号(pH:9.8±0.5)SOQ-2ASOQ-4ASOQ-6ASOQ-8ASOQ-10ASOQ-12D酸性型号(pH:2.8±0.5)ASOQ-2AASOQ-4AASOQ-6AASOQ-8AASOQ-10AASOQ-12D粒径(nm)10~3030~5050~7070~9090~110110~130外观乳白色或半透明液体比重1.15±0.05组成成份含量(w%)SiO215~30Na2O≤0.3重金属杂质≤50ppb 抛光液组成成份含量(w%)SiO215~30Na2O≤0.3重金属杂质≤50ppb 抛光参数(参考值)抛光压力150~250g/cm2抛光温度32~40℃稀释率1:1~20抛光时间3~6min 注:本抛光参数只适用于硅片的抛光。包 装:500ml/瓶,25Kg/桶,或200Kg/桶。储 存:储存温度0~35℃,在0℃以下因产生不可再分散凝胶而失效,温度高于35℃条件下储存会促使微生物生长和加速凝胶化,缩短储藏期。上述条件下碱性抛光液可存放两年左右,酸性抛光液可存放半年左右。 应用范围:1、硅晶圆片抛光;锗片抛光;砷化镓抛光;磷化铟抛光;光学晶体抛光;蓝宝石衬底抛光;LED衬底抛光;2、硒化锌抛光;光纤连接器抛光;光纤跳线抛光;玻璃抛光;石英抛光,CMP抛光液;

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